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應用案例 | 臺積電為保證光罩運輸質量選擇MSR沖擊振動記錄

發(fā)表時間:2024/11/7 13:58:18

晶圓運輸需要注意什么?

晶圓運輸是半導體制造過程中極為關鍵和敏感的一環(huán)。在晶圓運輸過程中,需要注意以下幾點:

1.靜電防護

晶圓非常容易受到靜電的干擾,因此在運輸過程中需要遵守嚴格的靜電防護措施。使用適當?shù)?span style="font-weight: 600;">靜電防護包裝材料和避免靜電產生的行為,如使用導電鞋墊和穿戴適當?shù)姆漓o電服裝。

2. 真空環(huán)境

晶圓在運輸過程中需要處于潔凈和真空的環(huán)境中,以防止灰塵和污染物對晶圓的影響。運輸過程中應使用密封良好的容器和避免碰撞或振動。

3. 溫度和濕度控制

晶圓對溫度和濕度變化非常敏感,因此在運輸過程中需要嚴格控制這些參數(shù)。使用恒溫恒濕的運輸設備和確保適當?shù)臏貪穸确秶?/span>,以防止晶圓受損或質量受影響。

4. 防碰撞和防震

晶圓是非常脆弱和易碎的,需要避免碰撞和震動。在運輸過程中,應使用適當?shù)?span style="font-weight: 600;">防震包裝和避免粗暴的操作,以保護晶圓的完整性。

5. 運輸記錄和追蹤

為了確保晶圓的運輸過程可追蹤和監(jiān)控,應使用適當?shù)?span style="font-weight: 600;">運輸記錄和追蹤系統(tǒng)。這將有助于追蹤晶圓的位置和狀態(tài),以及及時處理任何潛在的問題。

因此晶圓運輸需要非常嚴格的控制和保護措施,以確保晶圓的質量和完整性不受損害。



HK-MSR175Plus能夠做到什么?

HK-MSR175plus的主要功能是監(jiān)測和記錄運輸過程中的溫度、濕度、壓力和位置數(shù)據(jù)。它配備了內置的GPS模塊,可以準確記錄物品的位置信息,并可通過無線方式將數(shù)據(jù)傳輸?shù)?span style="font-weight: 600;">計算器或移動設備上進行分析和評估。

這款產品非常適合用于物流和運輸行業(yè),特別是在需要對貨物進行長途運輸或特殊環(huán)境下的監(jiān)測時。它可以幫助用戶實時監(jiān)測運輸過程中的溫度和濕度變化,以確保貨物的質量和完整性。



HK-MSR175plus具有高精度和可靠性,能夠提供詳細的數(shù)據(jù)報告和圖表,以便用戶進行分析和比較。該設備還具有耐用的外殼,能夠承受艱苦的運輸環(huán)境,并具有長電池壽命,確保長時間的監(jiān)測工作。

使用HK-MSR175plus,您可以有效地管理和控制運輸過程中的各種參數(shù),以確保產品的安全性和質量。這對于需要高度可靠監(jiān)測的行業(yè),例如食品和藥品行業(yè),尤其有用。

總之,HK-MSR175plus是一款功能強大的 GPS 數(shù)據(jù)記錄器,為運輸監(jiān)測提供了全面的解決方案,幫助用戶實時監(jiān)測貨物的溫度、濕度、壓力和位置,確保貨物在運輸過程中的安全和質量


臺積電工程師專訪

Q1:「HK-MSR175plus沖擊運輸數(shù)據(jù)記錄儀」在臺積電主要應用在哪些場域?(用在哪些產品的運輸?每一趟運輸?shù)臅r間、距離?)

A1:我們將HK-MSR175Plus應用在中國臺灣與美國的運輸中。因為在運輸過程中會產生量的上下左右振動,所以我們需要了解傳送振動的實際g値,并且規(guī)范出最大的振動范圍。平均一趟的來回運輸時間約為 9 天,距離約 25,000 公里。


Q2:眾多相關產品之中,臺積電為何選擇「HK-MSR 175plus」?(哪些特點吸引購買?價格、質量、功能性…?它跟其他類似的替代方案比有哪些更好的特點?)

A2:由于我們需進行長距離的測試,HK-MSR175plus本身具有的高電量與高內存特性,讓測量變得較為容易,有些廠商會因為時間一長,振動數(shù)據(jù)記錄太多,而內存容量不夠導致數(shù)據(jù)遺失。


Q3:在使用「HK-MSR175plus」的過程中,它對臺積電的工作或業(yè)務產生了什么樣的幫助?(運輸過程中的安全性產生了什么影響?相較之前使用的產品是否有哪些層面提升?)

A3:使用HK-MSR175Plus后能幫助臺積電更了解振動對光罩的影響,并且實際規(guī)范出量化的數(shù)值,防范未來振動對光罩的影響,提升光罩傳送的成功率。


Q4:這是屬于一次性的需求嗎?之后國內外的廠房建置是否會有復制需求?

A4:未來光罩在往返中國臺灣與美國的途中,會添置HK-MSR數(shù)據(jù)記錄儀以監(jiān)測運輸過程中所產生的振動數(shù)值。


Q5:最后,作為臺積電的工程師,您會推薦這項產品嗎?(是/否。推薦原因?推薦給哪些人使用?)

A5:會,非常推薦給需要量化振動數(shù)據(jù)的廠商或工程師們使用!


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